半导体产业作为现代信息技术产业的基础,已成为社会发展和国民经济的基础性、战略性和先导性产业,伴随着半导体产业规模逐渐扩张,半导体制造需求也日益增长,对半导体制造工艺也有了更高的要求。为追求便携性和更强大的计算能力,微型化及突破更高制程一直是半导体制造的主要发展趋势。水导激光技术逐渐深入半导体制造领域,为半导体无限追求更精密的微观世界,贡献着至关重要的作用,包括在晶体滚圆、划片、晶片切割等工艺环节。
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